真空共晶炉V3040/IGBT焊接炉

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 【特点】

 应用领域:IGBT模块、MEMS封装、大功率器件封装、光电器件封装、气密性封装等。
  1、观察系统:腔体带可视窗口, 可实时观察焊接过程, 
  2、加热系统:设备可配置6套加热系统,分别在真空环境下进行工作,互不影响,提高生产效率
    3、上、下加热系统,配置电流调节器,可分别进行高精度动态温度控制,同时保证承载台温度均匀度。
  4、真空系统:设备配置直联高速旋片式真空泵,可快速实现炉腔达到0.1mbar高真空环境,高真空度0.01mbar。
  5、冷却系统:设备采用水冷却系统,保证在高温真空环境下可以快速降温。
  6、软件系统:升降温可编程控制,可根据工艺设置升降温曲线,每条曲线都可自动生成,可编辑、修改、存储等。
  7、控制系统:软件模块化设计可独立设置工艺曲线、真空抽取、气氛、冷却等,并可合并生产工艺,实现一键操作。
  8、气氛系统:设备实现无助焊剂焊接,可充入H2、N2/H2混合气体、HCOOH、N2等还原或保护性气体,保证焊点无空洞。
  9、数据记录系统:具有不间断的实时监控和数据记录系统,软件曲线记录、温控曲线保存、工艺参数保存、设备参数记录、调用。
    10、多种工艺气氛:N2、N2/H2、纯H2、HCOOH(N2载气)
ArH2等离子体辅助工艺'

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