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为。室温下为白色或无色透明斜方晶系结晶，略带酸味。易潮解，受热或遇热水分解为氨与。热水中分解，水溶液呈强酸性。由无水与中和而得。能腐蚀玻璃，对皮肤有腐蚀性。可用作、玻璃蚀刻剂（常与并用）、发酵工业消毒剂和防腐剂、由氧化铍制金属铍的溶剂以及硅钢板的表面处理剂，还用于制造陶瓷、，锅炉给水系统和蒸气发生系统的清洗脱垢，以及油田砂石的酸处理，也用作化、异构化催化剂组分。
对于中金属离子的提纯，比较有效的方法是对反应物进行净化，以减少杂质的带入。薛循育等提出将原料气体通过 、KF 的洗涤液除去气体中的 、金属离子和离子 ；将工业级的氨气通过 KMnO4、 的纯水洗涤瓶 ，除去还原性杂质和金属离子，然后将净化的原料通入反应器，终制得的纯度达到电子工业应用的要求。 [6]
针对中杂质硅含量高的问题，中国吴海锋等做过深入研究，发现佳除硅 pH 为8.5~9.5；过稀的除硅不理想，氟质量浓度在 200 g/L 较好。隋岩峰等报道了一种提纯的方法：向一定质量浓度的粗产品中加入或是以除去未反应的（NH4）2SiF6杂质，再向其加入Ba（OH）2除去溶液中的根离子和未除净的根离子，过滤后经真空、、等处理后得到的产品符合电子工业及行业的要求
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