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六甲基二硅氮烷 999-97-3 六甲基二硅胺烷 半导体助剂 中文名称： 六甲基二硅氮烷 中文别名： 六甲基二硅亚胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS 英文名称： 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane CAS号： 999-97-3 EINECS号： 213-668-5 分子式： C6H19NSi2 分子量： 161.39 性状 无色透明液体、无毒、略带胺味 密度(25℃)g/cm3：0.770—0.780 折光率()：1.408±0.002 六甲基二硅氮烷含量(%)：≥99.0 六甲基二硅氧烷含量(%)：≤0.7 三甲基硅醇含量%：≤ 0.3 闪点：27℃ 沸点：126℃ 色度：≤10 用途：特种有机合成。衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。
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