台州超纯水设备,台州电子纯水设备,电子产品清洗用水设备

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本标准采用下列定义.

  3.1电子级水electronic grade water

  制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水. 3.2电阻率resistivity

  在规定温度下,1 cm2水溶液两相对面之间测得的电阻值.通常用符号P表示,单位为Ω﹒cm,纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25℃). 3.3全硅total silicon

  水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量. 3.4可溶性硅soluble silicon

  以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐. 3.5微粒性物质granular matter

  除气体以外,以非液态分散在水中,并形成非均相混合物的物质. 3.6总有机碳(TOC) total organic carbon

 

电子行业超纯水设备技术特征:

※制取电子级超纯水

※可连续自动生产,不必停机再生

※出水水质优于常规离子交换法

※不需酸碱再生,不污染环境

※运行成本低,占地面积小

 

进水水质要求:

※铁离子: < 0.01mg/L

※游离氯: < 0.5mg/L

※硬度: < 1.0mg/L

※活性SiO2: < 0.5mg/L

※总有机碳: < 0.5mg/L

※PH: 5.0-9.0

 

电子行业超纯水设备性能指标:

※出水电阻率: 10-18MΩ.cm

※SiO2: <10 ppb

※Na+: <10 ppb

※脱盐率: >99.5%

※单台产水量: 1-450 m3/h

 

电子行业超纯水设备应用范围:

※电力、石化及冶金行业的水处理除盐

※电子行业超纯水的制取

※行业超纯水的制取

 

电子行业(特别是微电子行业)纯水需求量大,其特点是水质要求较高.

 

电子行业超纯水设备主要应用于:

 

1.   大规模集成电路元器件的生产用水,一般电阻率均大于18MO-CM。按国家有关用水标准(GB/T11446.1-1997)执行。

 

2.  电子元件厂,在焊接和组装过程中的冲洗用水。依据电子元件生产工艺不同,其用水标准中(即GB/T11446.1-1997)有可为四级(一级高电导率18MO-CM以上,二级电阻率不低于15MO-CM,3级电阻率12MO-CM, 4级为0.5MO-CM).

1吨超纯水 (6)

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